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　　電子顯微鏡是韓國政府納米技術(shù)產(chǎn)業(yè)化戰(zhàn)略目標(biāo)中，20項(xiàng)服務(wù)于納米技術(shù)研發(fā)的軟硬件工程之一的重點(diǎn)項(xiàng)目, 力爭在2010年前達(dá)到世界較先進(jìn)水平。自2000年開始立項(xiàng)，韓國政府招募海外科學(xué)家，政府投資兩家單位，同時(shí)開展對電子顯微鏡的研制，一家為企業(yè)即韓國MIRERO株式會社，另一家為事業(yè)單位韓國標(biāo)準(zhǔn)與科學(xué)研究院（KRISS）。

　　韓國MIRERO株式會社一個(gè)事業(yè)部承擔(dān)電鏡項(xiàng)目，2007年該事業(yè)部轉(zhuǎn)變?yōu)镸IRERO獨(dú)立子公司SERON。由于過去MIRERO具有仿制掃描電鏡的基礎(chǔ)原型，在此基礎(chǔ)上2002年便推出IS2000型商品化電鏡，2003年升級為AIS2003分辨率為5nm，2004年升級為AIS2100分辨率標(biāo)稱3.5nm，并且于2005年開始海外市場推廣，AIS2100掃描電鏡在2004年到2009年作為其主要產(chǎn)品供應(yīng)國內(nèi)及國際市場。

　　自2006-2010年期間我國曾經(jīng)進(jìn)口了幾臺，2010年初本人有幸親自在AIS2100兩家中國客戶處上機(jī)考察，發(fā)現(xiàn)其較多問題,例如無電子槍電磁對中器,大幅度改變加速電壓或燈絲溫度,造成的燈絲微小變形,足以令電子槍合軸不良,因此要想改變電壓或者燈絲溫度,都要重新進(jìn)行機(jī)械對中調(diào)整,一般該廠商不建議用戶經(jīng)常改變觀察條件,用戶確實(shí)也是那么做的;還有軟件沒有工作距離參數(shù)顯示,改變工作距離,進(jìn)行聚焦,放大倍數(shù)不變,這個(gè)是不能允許的。

　　當(dāng)然這些明顯的缺陷在近一兩年有所解決.最主要的問題,其采用擴(kuò)散泵真空系統(tǒng),按道理本身振動小才對,調(diào)查的結(jié)果卻是,即使加上樣品臺氣鎖,超過一萬倍就開始影響圖像.究其原因產(chǎn)業(yè)化過早,過早參與競爭帶來經(jīng)營上的壓力巨大，加上底端的鎢燈絲掃描電鏡,市場和技術(shù)都很成熟,利潤率又很低,韓國政府采購中強(qiáng)制采購其產(chǎn)品，沒有競爭,因而對待問題的態(tài)度成了決定因素,往往遮蔽其制造技術(shù)缺陷。2009年底該企業(yè)推出升級產(chǎn)品AIS2100C及AIS2300C型掃描電鏡.

　　韓國標(biāo)準(zhǔn)與科學(xué)研究院（KRISS），從一開始便科學(xué)嚴(yán)謹(jǐn)?shù)倪M(jìn)行電鏡技術(shù)開發(fā)，2000年進(jìn)行市場調(diào)研，2001年進(jìn)行電子光學(xué)電磁透鏡設(shè)計(jì)，2003年獲得了初步成果，樣機(jī)上獲得5nm分辨率照片，并不斷優(yōu)化設(shè)計(jì)完善，實(shí)現(xiàn)了最佳性能。2004年開始設(shè)計(jì)全數(shù)字控制系統(tǒng)，高壓電路板等，2005年研制成功高亮度鎢燈絲電子槍。2007年7月，電子顯微鏡項(xiàng)目組從KRISS成功分離，成立COXEM公司。COXEM商品化掃描電鏡一經(jīng)推出，便是比較成熟可靠的，高檔渦輪分子泵潔凈真空系統(tǒng)配置，以極高的性價(jià)比，受到用戶歡迎。07年在韓國僅出售1臺， 08年出售了6臺，09年出售了23臺，從絕對數(shù)量上看很少，但從增長率上來看，確是很高的。充分說明，使用者的示范效應(yīng)起到了市場催化。

　　韓國國內(nèi)用戶對于COXEM掃描電鏡的渴求，可謂是久旱望甘霖，終于有了韓國本土制造的掃描電鏡，可以和其他進(jìn)口品牌，在同檔產(chǎn)品的綜合性能上一較高下，令韓國人為之振奮，預(yù)計(jì)2010年，coxem電鏡在韓國本土的銷售可達(dá)40臺以上.2010年初，coxem開始開發(fā)海外市場，首先開發(fā)的是美國市場，美國evex能譜公司作為其合作伙伴，其次是中國市場為代表的亞洲各國市場。2009年底coxem推出可靠地CX-200型全自動掃描電子顯微鏡，該型號將于2010年下半年向海外發(fā)售。

　　韓國這兩家制造商持續(xù)受到政府技術(shù)創(chuàng)新資金支持，海外市場開拓基金支持，開發(fā)納米科技支撐裝備電子顯微鏡為目標(biāo)，開發(fā)海外市場。

　　目前韓國鎢燈絲掃描電鏡市場每年需求約200臺，據(jù)說韓國本土制造占有50%份額。