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dbzz【真空涂覆技術(shù)】深圳東田專(zhuān)業(yè)真空涂覆加工
Parylene真空涂覆技術(shù)是獨(dú)特的聚對(duì)二甲苯材料系列的統(tǒng)稱(chēng)，屬于一種具有完全線形、高度結(jié)晶的高聚物�！ 型Parylene是對(duì)二甲苯的高聚物,在各類(lèi)Parylene中具有最強(qiáng)的滲透能力，能夠有效地在各種細(xì)縫或盲孔表面形成薄膜。它的介電常數(shù)極低(2.65)及耗散因子小，且隨外界頻率的增加變化不大；同時(shí)具有最佳的潤(rùn)滑效果，主要用于橡膠、光學(xué)領(lǐng)域�！ ≡趯�(duì)二甲苯鏈的側(cè)環(huán)上添加一個(gè)氯原子，就得到了C型Parylene。C型Parylene具有非常低的水分子和腐蝕性氣體的透過(guò)率，沉積生長(zhǎng)速率也比N型快得多，相應(yīng)的滲透能力也差于N型；是目前應(yīng)用最廣，防護(hù)效果最好的Parylene�！ 型是在對(duì)二甲苯鏈的側(cè)環(huán)上擁有兩個(gè)氯原子的Parylene，因而在更高溫度下具有相對(duì)更好的物理及電性能，同時(shí)與N、C型相比，具有更好的熱穩(wěn)定性； Parylene的熱分解起源于苯環(huán)兩側(cè)的C-C鍵，通過(guò)將二甲基上的H原子替換為F原子，就得到HT型Parylene真空涂覆，目前還未商品化，但HT型所擁有的大于420的使用溫度和最低的介電常數(shù)，使其在航空及半導(dǎo)體領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用前景。
深圳市東田精密光電有限公司
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