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我公司設計制造的SV系列PVD多弧離子鍍膜機主要由以下部分組成：
1.真空筒體：采用全不銹鋼制造，雙層水冷結構
2.抽氣機組：采用旋片泵＋羅茨泵＋擴散泵組合的高效率真空機組
3.轉架系統(tǒng)：采用不銹鋼轉架，自轉與公轉相結合的行星運轉方式
4.水冷系統(tǒng)：采用全水套的水冷方式，冷卻效率高
5.電源系統(tǒng)：設計先進，性能穩(wěn)定可靠
6.進氣系統(tǒng)：采用優(yōu)質質量流量計結合自主研發(fā)的控制系統(tǒng)，確保進氣量穩(wěn)定準確
7.控制系統(tǒng)：設計結構先進，有手動控制和自動控制兩種方式
8.弧離子源：設計獨特，高離化率。